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    APK6100E半導體行業超（chāo）高純(特種)氣體稀（xī）釋係統，是一款具有高精度高稀釋比的升級產品，可（kě）配製五種標氣（qì）的混合氣（qì）(可（kě）定（dìng）製（zhì）),稀釋（shì）比可達（dá）到1:10000，二（èr）級稀釋，高精度，帶有（yǒu）加濕功能，可用於傳感器生產商，半導體生產商的產品測試及科研院所的科學研究。可根據用（yòng）戶要求定製。

    特點：

    苯係物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他（tā）;

    帶有加濕功能，可控製稀（xī）釋後氣體濕度

    高精度質量（liàng）流量計（MFC），配製氣體濃度精準（zhǔn）

    可選配液體標樣稀釋模塊

    功能：
    1、單一/混合氣體配製
    通過質量流量（liàng）控製（zhì）器（MFC）順序連接兩種或多種標（biāo）準氣體，如順序稀釋或產生混合氣體。可以單獨（dú）稀釋多種標準氣體，也（yě）可以通過同時稀釋多種的標準氣體來產生混合氣體（tǐ）。
    2、蘇瑪罐罐衝
    該係（xì）統（tǒng）配備了壓力傳（chuán）感器，以精確的壓力將稀釋氣體引入罐（guàn）中。
    3、控製溫度和濕度
    自動調節溫度和濕度，在各種條件下連續產生氣體。
    4、液體標樣氣化稀釋
    可選（xuǎn）配（pèi）液體標樣（yàng）稀釋模塊
    5、顆粒物發（fā）生裝置
    可（kě）選配顆粒物（wù）發生裝置，模擬各種工況
    以（yǐ）上功能均（jun1）可根（gēn）據（jù）客戶實（shí）際需求組合定製。

    應（yīng）用：

    傳感器生產商

    半導體生產商（shāng）

    科研院所

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■可配置液體或氣體樣品；

■可實現標（biāo）樣加濕功能；

■兩級高精度MFC控製；

■稀釋比高（gāo）；

■全自動運行，直接讀取濃度，ppm，ppb或ppt；

■可針對不同用戶的稀釋要求定製產品。